随着现代工业的快速发展, 精密光学元件在各个工业领域有着广泛的应用, 光学元件作为实现光学功能的载体, 为各类光学仪器的开发使用起到了至关重要的作
用。顺应科学技术的发展,人们对光学元件的检测提出了越来越高的要求,光学元件检测技术也受到了广泛重视。
现代光学元件的检测内容与方法具体有以下几个方面:
一、光学材料性能的检测:
折射率,色散,非均匀性,应力双折射,气泡与杂质,条纹,光吸收等
二、光学元件的基本量测量:
平面(棱镜):几何尺寸 面形,角度,平行度
透镜:几何尺寸,外径,厚度,倒边 面形,中心偏
元件表面质量:划痕, 麻点,粗糙度
元件薄膜: 厚度、均匀性、透过率、应力、形变、偏振等
三、光学系统特性参数的测量:
显微镜:放大率,数值孔径
望远镜:焦距,放大率,相 对孔径,视度
照相物镜:相对孔径,分辨率,像面照度, 杂光系数
四、光学系统参数与像质检测:
焦距与星点测量,分辨率测量,几何像差测量,波像差检验,透过率测量,像面照度测量,杂光系数测量,光学传递函数测量
五、光源和接收器、激光参量和波面质量的检测等方面也都属于光学检测范围。
另外,还有非光学量用光学测量的种种方法进行检测:位移、形变、形貌等方面也都属于光学检测范围。
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